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中微公司推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex CW

时间:2023-05-09 15:26:59    来源:云掌财经


(相关资料图)

近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积设备PreformaUniflexCW。该设备可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),每个反应腔可以同时加工两片晶圆,实现更高的生产效率。

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